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扫描电镜的原理介绍
扫描电镜的原理介绍
更新时间:2021-03-04 点击次数:7365
扫描电镜(SEM
)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。主要用于各种材料的微观分析和成分分析,已经成为材料科学、生命科学和各生产部门质量控制中*的工具之一。
扫描电镜的结构包括电子光学系统、图像显示和记录系统、真空系统、X射线qy球友会分析系统。
扫描电镜
的原理介绍:
扫描电子显微镜是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面,从而获得样品信息的电子显微镜。所以其使用电子束为照明源,电子束在样品表面扫描,利用电子和物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要依据分辨率和有效放大倍数。分辨率即能够分辨的小距离。
通常采用阿贝公式定义分辨率,公式(单位为nm)为:
式(1)中:R 为分辨率;λ为波长;n 为折射率;α为孔径半径。
有效放大倍数定义为:
式(2)中:Rp 为人眼能够区分的小距离,Rm 为机器能够分辨的小距离,比如人眼可以区分0.2 mm,机器可以区分1 nm,那么这台仪器有效放大倍数是20 万倍。针对不同的有效放大倍数,扫描范围也会有所区别。
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